随着我国信息技术的飞速发展,近年来大规模、高级别的洁净厂房(或称为超级洁净厂房)纷纷建造。这种厂房的特点是中心为大面积的洁净生产区域层),区域内布置特定工艺区和中央走廊,关键处设置高洁净度的产品走道和微环境装置。上层的巨大空间用于布置送风管网或用作送风静压箱;其下层准设施层)是用来安排从洁净区移出去的设备、工艺设施以及中央公共设施的管网;在设施层和工艺层之间设有回风空间;洁净区域周围设置竖井用于回风。系统,集中将新风直接处理到室内状态的露点,然后进入循环风系统。循环风通道中设置干式冷盘管,处理室内显热负荷。所不同的只是循环风系统的设计有不同的解决方法。
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亚太净化,专业承接各行业车间无尘无菌净化工程,电话:133053461591、无尘车间净化工程新风系统设计方案
空气好净化洁净厂房的主要支撑系统是中央公用设施,往往集中布置洁净区域的周围或设置在独立的专用大楼中。另外还设置了安全系统,它包括火灾的检测及预报系统;火及喷水系统;烟雾检测和排烟系统,化学品的检测,紧急状况的控制系统、储存系统。
由于关键的工艺生产要求以及不断地更新换代对环境控制十分苛刻,特别是系统的可靠性、灵活性与安全性,设备容量与节能,余量与备用以及环境、有严格要求。为满足关键生产要求,在工艺层中设置的微环境中可达到非常高的洁净度(0.1μm1级),其他生产区域的清洁度水平也必须达到1000级或更多的单向流气流技术(消除粉尘污染的能力)和隔离技术(隔离外界对工艺环境的影响)。单向流速一般为0.35m/s。为了响应成本低、时间短的新产品,特别强调送风模式的灵活性、可靠性和安全性,可以简单地根据工艺分布和工艺环境的最新要求进行更改。由于工艺更新快,工艺设备占很大比例,变化频繁。因此,设计概念和相应的送风系统模式特别注意系统的剩余和备用。
亚太净化,专业承接各行业车间无尘无菌净化工程,电话:133053461592、洁净厂房的通风空调系统模式
近年来洁净厂房出现三种系统模式,主要的区别在于循环风系统,通常有分散式循环风机组、风机竖井和风机过滤器机组(简称FFU)。进一步分析和比较我国大量机组模式的特点,以及其他两种送风模式。
(2.1)分散式循环风机组
这种循环风机组是分散布置的组装式空气处理机组,典型为干式冷盘管与离心风机组成。直接安装在洁净工艺层的上部,回风竖井布置在大楼的两侧,生足够的压头(650Pa左右)来满足气流流经回风通路上各个部件所需要的静压,也可大大延长末端过滤器的寿命。但是当总流量增加太大时,风机尺寸、地噪声也相应增大。送风静压箱设置在送风机组和过滤器顶棚之间,使得送风静压箱内的压力仍高于洁净工艺层。
(2.2)风机竖井
可利用大楼两侧(或隧道)空间安装循环机组,则轴流风机最为合适。并将消声器结合一起,相当紧凑高效,因此也很经济。由于屋架不必承受循环机轻,建筑结构也合理。在屋顶和过滤器吊顶之间布置送风静压箱,送风静压箱内的压力高于洁净工艺层,为此不得不采用液槽密封。即在顶棚格栅中的液槽液体的密封胶,周圈带刀口的空气过滤器插入密封胶中,造成了与液式顶棚格栅之间的气密性密封。安装与变更空气过滤器(或盲板)也较方便。轴流风机相对较低的静压高效地输送更多的空气,并可方便、高效地变化风量。它所产生的静压与流量比完全符合典型的高级别洁净室运行工况。
(2.3)风机过滤器机组(FFU)
典型的风机过滤器机组由内装式离心机、消声装置和高效过滤器(HEPA或ULPA由过滤器组成,紧凑地组装在一个金属盒子里。风机过滤器机组(或盲板)可直接设置在清洁工艺层的天花板上,形成不同级别的清洁区域。风机过滤器机组很容易循环风,但不能产生太大的静压。空气通过机组内部过滤器后,几乎没有多少动力来克服外部系统的阻力。
以上三种概念都具有很高程度的灵活性,在洁净厂房中均得以普遍采用。可使中间工艺层能够十分方便接受高洁净度的空气,变更洁净区域。系统回风间进行,所有设施管道可以方便地根据设备变更或移位来配接,所有潜在污染源都能够封闭或排除,以防止交叉污染。以下将对这三种模式进行分析与比较使整个系统降低造价、节省运行费用以及提高能量利用效率。
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亚太净化,专业承接各行业车间无尘无菌净化工程,电话:133053461593、三种送风模式的比较
循环风系统有三个目的:温度控制、尘埃控制和气流控制。主要目的去除洁净厂房尘粒和热量。循环风系统的送风量取决于洁净厂房的洁净度级别。尽均可满足循环风系统的要求。但是由于循环风输送系统的能耗占了很大比例,不得不使我们重视它的能效。
近年来风机过滤器机组在我国大量采用主要有如下原因:(1)风机过滤器机组的本身的优越特性,如设置灵活、能适应工艺变更,顶棚不易渗漏,顶棚格栅和密封轴流风机的偏见,如风压低、噪声大等。(3)与分散式循环风机组相比,可降低建筑物高度。(4)随着微环境的使用,工艺层洁净度级别降低,风机过滤器机组造价有竞争力
(3.1)诚然近年来空气好净化风机过滤器机组性能已有很大的提高,解决了出风速度均匀性、振动、噪声和故障率等问题。新型风机过滤器机组中风机刷、电子整流直流电动机,可无级变速。用霍尔效应(Hall-effect)传感器使控制线能够准确调整电机电压与风机所需扭矩的匹配,电机效应提高75%~80%。效率的提高带来了更安静的运行效果,增强了其竞争力。控制器还可以在远处监测和控制风扇的旋转速度。同样,监控和控制每个风扇过滤器单元的开口。其他两种方案无法准确控制和监控每个风扇过滤器单元的运行。然而,风扇过滤器单元的昂贵设备成本也是其他两种方案备的最高配电设施成本和自动化成本。虽然它的电机要小得多,但它的数量要多得多。虽然通过降低监测功能,但风扇过滤单元的自动化成本可以降低损坏系统的运行和维护。相比之下,风扇过滤单元的外部余压较小(100Pa左右)需要较宽的回风竖井和较大的冷却盘管面积来降低断面风速,减少系统增加其他性能的过滤器。从结构上看,风扇过滤器单元可以降低过滤器天花板的成本。但由于液槽密封天花板非常成熟,生产量大,价格一再下降。两者都建造了。风扇过滤器单元确实可以简化过滤器天花板的密封性。但由于机组过滤器上方的压力高于洁净室区域,机组过滤器和外壳泄漏仍是一个大问题,粉尘颗粒仍是区域风险。当然,这(泄漏)最初是一个施工问题,现在已经转变为产品质量问题,但隐患仍然存在。
(3.2)按以往的经验,轴流风机应是三种风机类型中噪声与振动最大的,产生的静压不足以克服净化系统的阻力。另外还必须采取额外消声措施,这本及额外的静压损失。为此在空调领域中绝大多数场合都采用离心风机。但是离心风机和轴流风机的性能不仅仅看静压或流量的数值,而是考虑所产生的流对高级别洁净厂房来说,轴流风机的流量与静压比值最具合理性。两者性能的比较是相对的。通常两者的最后选择,并不取决于各自的优点和缺点而是取决和思路。必须注意现在使用的轴流风机己完全不是过去的概念了,己将先进的风机工程学与空气动力学以及声学制造的消声器结合起来。为获得预期的性能的制造必须在严格的公差范围内;风机机体必须是完美地接近圆柱形,这样与风机叶轮的间隙达到最小。因此风机机体不仅是一个钣金件,而且还是转速及两种变流量装置,能够使风机达到最佳性能。进口及出口的消声器也是设计定制,从而不需消耗高静压的消声器也能达到最大噪声衰减的性能。除了提高以轴流风机组竖井设备的设置也得以简化,维护更方便。每个风扇都安装在一辆可移动的汽车上,雕刻装置通常是固定的,并连接到出入口的消声器。通常,这些修理,因为它们只是一个可移动的部件。当需要修理或更换风扇时,可以拆卸风扇与消声器的连接,用简单的牵引带从空气通道中滚出,送出相邻的维护要求。可选择具有有有机外静压能力的轴流风机,以克服前过滤器或化学过滤器等部件的阻力。更合适的外部静压为400Pa。
(3.3)现在分散式循环风机组大多采用了无蜗壳风机,性能也有所提高。但是新型的轴流风机性能卓越,越来越多的机组设置在非洁净区,在三种方维修最方便,对洁净工艺层影响最小。它要求厂房的高度最高,但无需那么大的建筑宽度。对于分散式循环机组来说,建筑结构的风机平台必不可少,而另要。由于机组内设置冷却盘管面积,冷冻水必须接入屋顶的每个循环机组中去。存在着水的隐患。这是安装在上层的分散式循环风机组的致命弱点。
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亚太净化,专业承接各行业车间无尘无菌净化工程,电话:133053461594、定性分析三种送风模式
如果我们以引言中介绍的洁净厂房为模型,选择能量效率与投资费用作为评价指标,这是定性分析三种送风模式的基础。文献中提及的能量效率的评价气流量所耗的能量来表示[W/(m3/h)]。投资成本以相对成本的价格指标表示,还包括机械、电力、检测仪器和控制,以及建筑和结构成本。过去,为了适应工艺的频繁更新,大部分采用大面积清洁厂房,工艺层过滤器满布率往往为100%;目前,微环境装置广泛应用于生产线,外部清洁空间的清洁度仅降低风量,过滤器满布率可降低至25%。对于这两种情况,比较上述三种方案。
(4.1)每种方案的相对总成本反映。反映了它的成本因素。三种方案在100%的过滤器满布率的场合中的区别比较明显。风机过滤器机组方案,设备滤器机组的成本可趋近于分散式循环机组。但它的优越性也丧失了。
(4.2)对于25%的过滤器满布率的场合,风机型竖井方案总的来讲没有多大变化。由于轴流风机的存在,无法改变风机竖井的尺寸。风机过滤器机组大大减少,使机组数量减少、回风竖井变窄。投资费用可以降得最多。相比之下分散式循环机组设备费用就显得稍微高一些(冷却水仍必须送入每个分散式去)。另外所需的风机过滤器机组的配电费用和自动化成本也随数量的减少而降低,又使分散式循环机组的用电设备费用变得最高。三种方案的费用差异只滤器的满布率的场合下才能减少。反映了它的成本因素。这时风机过滤器机组竞争力增强。但比起另两种方案来,仍需要更大的冷却盘管面积,适应工艺变余量(风量或余压)仍较小,难于进行系统较大的改变。对于风机过滤器机组来说,上层的高度只须满足静压箱的维修的便利即可。如厂房高度太低,则不方案。对于分散式循环机组,较大的上层高度对于设备的安放在增压送风静压箱上非常重要。建筑结构的风机平台对支撑分散式循环机组也很重要。
(4.3)能量效率越高,移动一定流量的空气所需要的能量减少。反映了不同过滤器满布率的能量效率。由此表可见轴风机及其电机本质上具的更高效统风机,还是采用新型风机在过滤器满布率为100%与25%的情况下,其能量效率始终比其它两种方案高。即使在过滤器满布率为25%时,中建南方风机过能量效率有了很大的提高,但是风机过滤器机组方案的能量效率仍然最低。传统的风机系统能效大约是0.235W/(M3/H)左右,通常IC洁净厂只有500万元的循环风。如果采用新型风机系统,能效将提高到0.118W/(M3/H),电费可以省一半,相当可观。
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